薄(bo)膜(mo)(mo)作(zuo)(zuo)为(wei)改善器件(jian)性(xing)能的(de)(de)(de)(de)重要(yao)途径，被广泛应用(yong)(yong)于现代(dai)光(guang)(guang)学(xue)、电子(zi)、医疗、能源、建材(cai)等(deng)技术领域。受薄(bo)膜(mo)(mo)制备(bei)工(gong)(gong)艺及(ji)生(sheng)产(chan)(chan)环境影(ying)(ying)响(xiang)，成品薄(bo)膜(mo)(mo)存在厚(hou)(hou)度(du)分(fen)(fen)(fen)(fen)布不均、表面粗糙(cao)度(du)大等(deng)问(wen)题，导致(zhi)其(qi)光(guang)(guang)学(xue)及(ji)物理性(xing)能达不到设计(ji)要(yao)求，严重影(ying)(ying)响(xiang)成品的(de)(de)(de)(de)性(xing)能及(ji)应用(yong)(yong)。随着薄(bo)膜(mo)(mo)生(sheng)产(chan)(chan)技术的(de)(de)(de)(de)迅速发(fa)展，准确测(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和科学(xue)评价薄(bo)膜(mo)(mo)特(te)性(xing)作(zuo)(zuo)为(wei)研(yan)究热点，也引起产(chan)(chan)业(ye)(ye)界的(de)(de)(de)(de)高度(du)重视。厚(hou)(hou)度(du)作(zuo)(zuo)为(wei)关(guan)键指(zhi)标(biao)直接影(ying)(ying)响(xiang)薄(bo)膜(mo)(mo)工(gong)(gong)作(zuo)(zuo)特(te)性(xing)，合理监控薄(bo)膜(mo)(mo)厚(hou)(hou)度(du)对(dui)(dui)于及(ji)时调整生(sheng)产(chan)(chan)工(gong)(gong)艺参数、降低加工(gong)(gong)成本(ben)、提(ti)高生(sheng)产(chan)(chan)效(xiao)率及(ji)企业(ye)(ye)竞争(zheng)力等(deng)具(ju)有重要(yao)作(zuo)(zuo)用(yong)(yong)和深远意义。然而(er)(er)，对(dui)(dui)于市场(chang)份额(e)占比大的(de)(de)(de)(de)微米级(ji)工(gong)(gong)业(ye)(ye)薄(bo)膜(mo)(mo)，除要(yao)求测(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)系统(tong)(tong)不仅具(ju)有百纳(na)米级(ji)的(de)(de)(de)(de)测(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)精度(du)之(zhi)外，还要(yao)求具(ju)备(bei)体积小(xiao)、稳定(ding)性(xing)好的(de)(de)(de)(de)特(te)点，以(yi)(yi)适(shi)应工(gong)(gong)业(ye)(ye)现场(chang)环境的(de)(de)(de)(de)在线检(jian)测(ce)需(xu)求。目(mu)前光(guang)(guang)学(xue)薄(bo)膜(mo)(mo)测(ce)厚(hou)(hou)方法(fa)(fa)仍(reng)无(wu)法(fa)(fa)兼顾高精度(du)、轻小(xiao)体积，以(yi)(yi)及(ji)合理的(de)(de)(de)(de)系统(tong)(tong)成本(ben)，而(er)(er)具(ju)备(bei)纳(na)米级(ji)测(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)分(fen)(fen)(fen)(fen)辨力的(de)(de)(de)(de)商用(yong)(yong)薄(bo)膜(mo)(mo)测(ce)厚(hou)(hou)仪器往(wang)往(wang)价格昂(ang)贵、体积较大，且无(wu)法(fa)(fa)响(xiang)应工(gong)(gong)业(ye)(ye)生(sheng)产(chan)(chan)现场(chang)的(de)(de)(de)(de)在线测(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)需(xu)求。基于以(yi)(yi)上分(fen)(fen)(fen)(fen)析，本(ben)课(ke)题提(ti)出基于反射(she)光(guang)(guang)谱原理的(de)(de)(de)(de)高精度(du)工(gong)(gong)业(ye)(ye)薄(bo)膜(mo)(mo)厚(hou)(hou)度(du)测(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)解决方案(an)，研(yan)制小(xiao)型(xing)化、低成本(ben)的(de)(de)(de)(de)薄(bo)膜(mo)(mo)厚(hou)(hou)度(du)测(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)系统(tong)(tong)，并提(ti)出无(wu)需(xu)标(biao)定(ding)样(yang)品的(de)(de)(de)(de)高效(xiao)稳定(ding)的(de)(de)(de)(de)膜(mo)(mo)厚(hou)(hou)计(ji)算算法(fa)(fa)。研(yan)发(fa)的(de)(de)(de)(de)系统(tong)(tong)可以(yi)(yi)实现微米级(ji)工(gong)(gong)业(ye)(ye)薄(bo)膜(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)厚(hou)(hou)度(du)测(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)。白(bai)光(guang)(guang)干涉膜(mo)(mo)厚(hou)(hou)测(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)技术可以(yi)(yi)实现对(dui)(dui)薄(bo)膜(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)快速测(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和分(fen)(fen)(fen)(fen)析。嘉定(ding)区膜(mo)(mo)厚(hou)(hou)仪

白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)分析方法(fa)(fa)利(li)用(yong)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)感知空间(jian)位(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)变(bian)化，从而得(de)(de)到被(bei)(bei)测(ce)物体(ti)(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)息。它是在单(dan)(dan)色(se)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)移(yi)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)术的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)基础上发展(zhan)而来的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)。单(dan)(dan)色(se)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)移(yi)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)术利(li)用(yong)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)路使(shi)参(can)考光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)和被(bei)(bei)测(ce)表面的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)反射光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)发生干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)，再使(shi)用(yong)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)移(yi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)方法(fa)(fa)调制相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)，利(li)用(yong)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)场中(zhong)(zhong)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)强的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)变(bian)化计算出(chu)其(qi)(qi)每(mei)个数据点的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)初始(shi)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)，但是这样(yang)得(de)(de)到的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)是位(wei)(wei)(wei)(wei)于(yu)（-π，+π]间(jian)，所以(yi)得(de)(de)到的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)是不(bu)连续的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)。因此(ci)，需要进行相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)展(zhan)开(kai)使(shi)其(qi)(qi)变(bian)为连续相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)。再利(li)用(yong)高度(du)与相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)信(xin)息求出(chu)被(bei)(bei)测(ce)物体(ti)(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)表面形貌。单(dan)(dan)色(se)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)移(yi)法(fa)(fa)具有测(ce)量(liang)速度(du)快、测(ce)量(liang)分辨力高、对(dui)背景(jing)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)强不(bu)敏感等优点。但是，由(you)于(yu)单(dan)(dan)色(se)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)无(wu)法(fa)(fa)确(que)定干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)条纹的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)零级位(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)。因此(ci)，在相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)解包裹中(zhong)(zhong)无(wu)法(fa)(fa)得(de)(de)到相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)差的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)周期数，所以(yi)只能假定相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)差不(bu)超(chao)过一(yi)个周期，相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)当于(yu)测(ce)试表面的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)相(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)邻高度(du)不(bu)能超(chao)过四分之一(yi)波长[27]。这就限(xian)制了其(qi)(qi)测(ce)量(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)范围，使(shi)它只能测(ce)试连续结构或(huo)者光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)滑表面结构。南充(chong)高精(jing)度(du)膜(mo)厚仪白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)膜(mo)厚测(ce)量(liang)技术可以(yi)实现(xian)对(dui)薄膜(mo)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)三维成(cheng)像和分析。

针对(dui)靶(ba)丸(wan)(wan)自身独特(te)的特(te)点及极(ji)端实(shi)验条件(jian)需(xu)求，使得(de)靶(ba)丸(wan)(wan)参(can)(can)(can)数(shu)的测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)试工(gong)作变得(de)异(yi)常复杂。如(ru)何(he)精确(que)地测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)定靶(ba)丸(wan)(wan)的光(guang)(guang)学(xue)参(can)(can)(can)数(shu)，一(yi)直是激光(guang)(guang)聚(ju)变研究者非常关注的课题(ti)。由于光(guang)(guang)学(xue)测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量方(fang)法(fa)具有(you)无损、非接触、测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量效率(lv)高、操作简便等优越性，靶(ba)丸(wan)(wan)参(can)(can)(can)数(shu)测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量通常采用(yong)(yong)光(guang)(guang)学(xue)测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量方(fang)式。常用(yong)(yong)的光(guang)(guang)学(xue)参(can)(can)(can)数(shu)测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量手段很多，目前，常用(yong)(yong)于测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量靶(ba)丸(wan)(wan)几何(he)参(can)(can)(can)数(shu)或光(guang)(guang)学(xue)参(can)(can)(can)数(shu)的测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量方(fang)法(fa)有(you)白光(guang)(guang)干(gan)涉(she)法(fa)、光(guang)(guang)学(xue)显微干(gan)涉(she)法(fa)、激光(guang)(guang)差(cha)动共焦法(fa)等。靶(ba)丸(wan)(wan)壳(qiao)层折(zhe)射(she)率(lv)是冲(chong)击波分时调控实(shi)验研究中的重(zhong)要(yao)参(can)(can)(can)数(shu)，因此，精密测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量靶(ba)丸(wan)(wan)壳(qiao)层折(zhe)射(she)率(lv)十分有(you)意(yi)义。而(er)常用(yong)(yong)的折(zhe)射(she)率(lv)测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量方(fang)法(fa)[13]，如(ru)椭圆偏振法(fa)、折(zhe)射(she)率(lv)匹配法(fa)、白光(guang)(guang)光(guang)(guang)谱法(fa)、布(bu)儒(ru)斯(si)特(te)角(jiao)法(fa)等。

微(wei)纳制造(zao)技(ji)术(shu)(shu)的发展推动着检(jian)(jian)测技(ji)术(shu)(shu)向微(wei)纳领(ling)域进军(jun)，微(wei)结(jie)构和(he)薄膜(mo)结(jie)构作为微(wei)纳器件中(zhong)的重要组(zu)成部分(fen)，在(zai)半导体、医(yi)学、航天航空、现代制造(zao)等领(ling)域得到了(le)广泛(fan)(fan)的应用(yong)，由于其(qi)微(wei)小和(he)精细的特征，传(chuan)统检(jian)(jian)测方(fang)法(fa)不能(neng)满足要求。白(bai)光(guang)(guang)干涉(she)法(fa)具有(you)非接(jie)触、无损伤、高精度等特点，被(bei)广泛(fan)(fan)应用(yong)在(zai)微(wei)纳检(jian)(jian)测领(ling)域，另外光(guang)(guang)谱测量(liang)(liang)(liang)具有(you)高效率、测量(liang)(liang)(liang)速度快的优(you)点。因(yin)此，本文(wen)提出了(le)白(bai)光(guang)(guang)干涉(she)光(guang)(guang)谱测量(liang)(liang)(liang)方(fang)法(fa)并(bing)搭建了(le)测量(liang)(liang)(liang)系统。和(he)传(chuan)统白(bai)光(guang)(guang)扫描干涉(she)方(fang)法(fa)相比，其(qi)特点是具有(you)较强(qiang)的环境噪声抵御能(neng)力，并(bing)且(qie)测量(liang)(liang)(liang)速度较快。白(bai)光(guang)(guang)干涉(she)膜(mo)厚(hou)测量(liang)(liang)(liang)技(ji)术(shu)(shu)可以对薄膜(mo)的厚(hou)度、反射率、折射率等光(guang)(guang)学参数进行(xing)测量(liang)(liang)(liang)。

白(bai)光(guang)(guang)光(guang)(guang)谱法克服了(le)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)级(ji)(ji)次的模(mo)糊识别问(wen)题，具有(you)动态测量范围大，连续测量时波动范围小(xiao)的特点，但在实(shi)际(ji)测量中，由于测量误(wu)(wu)差、仪器误(wu)(wu)差、拟合误(wu)(wu)差等因素，干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)级(ji)(ji)次的测量精度(du)仍其受影响，会出现干(gan)(gan)(gan)扰级(ji)(ji)次的误(wu)(wu)判和干(gan)(gan)(gan)扰级(ji)(ji)次的跳变现象(xiang)。导(dao)致公式计(ji)算(suan)得(de)到(dao)的干(gan)(gan)(gan)扰级(ji)(ji)次m值(zhi)与实(shi)际(ji)谱峰干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)级(ji)(ji)次m'(整数)之(zhi)间有(you)误(wu)(wu)差。为(wei)得(de)到(dao)准确(que)的干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)级(ji)(ji)次，本文依据干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)级(ji)(ji)次的连续特性设计(ji)了(le)以下校正流程图，获(huo)得(de)了(le)靶丸壳层光(guang)(guang)学(xue)厚度(du)的精确(que)值(zhi)。导(dao)入白(bai)光(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)光(guang)(guang)谱测量曲线。白(bai)光(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)膜厚测量技(ji)术可以应用于材料科学(xue)中的薄膜微结构分析。南充高(gao)精度(du)膜厚仪

白光干涉膜厚(hou)测量技术可以(yi)应(ying)用于光学(xue)传感器中的(de)薄膜厚(hou)度测量。嘉定区膜厚(hou)仪

光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)具(ju)(ju)有传播的(de)(de)(de)(de)特(te)性，不同波列(lie)在相(xiang)遇的(de)(de)(de)(de)区域，振(zhen)动(dong)(dong)将相(xiang)互(hu)叠加(jia)(jia)，是各列(lie)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)波独自在该点所引起的(de)(de)(de)(de)振(zhen)动(dong)(dong)矢量和。两束(shu)(shu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)要发(fa)生干(gan)(gan)涉(she)(she)，应必须满足三个相(xiang)干(gan)(gan)条(tiao)件，即：频率一(yi)致(zhi)、振(zhen)动(dong)(dong)方向一(yi)致(zhi)、相(xiang)位(wei)差稳定(ding)(ding)一(yi)致(zhi)。发(fa)生干(gan)(gan)涉(she)(she)的(de)(de)(de)(de)两束(shu)(shu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)在一(yi)些地方振(zhen)动(dong)(dong)加(jia)(jia)强(qiang)，而(er)在另一(yi)些地方振(zhen)动(dong)(dong)减(jian)弱(ruo)，产(chan)生规则的(de)(de)(de)(de)明暗交(jiao)替变(bian)化。任何干(gan)(gan)涉(she)(she)测(ce)(ce)量都是完(wan)全建立在这种光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)波典(dian)型(xing)特(te)性上的(de)(de)(de)(de)。下(xia)图分(fen)别(bie)表(biao)(biao)示(shi)干(gan)(gan)涉(she)(she)相(xiang)长和干(gan)(gan)涉(she)(she)相(xiang)消的(de)(de)(de)(de)合振(zhen)幅。与(yu)激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源相(xiang)比，白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源的(de)(de)(de)(de)相(xiang)干(gan)(gan)长度在几微(wei)米(mi)到几十微(wei)米(mi)内，通常都很(hen)短，更为重要的(de)(de)(de)(de)是，白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源产(chan)生的(de)(de)(de)(de)干(gan)(gan)涉(she)(she)条(tiao)纹(wen)具(ju)(ju)有一(yi)个典(dian)型(xing)的(de)(de)(de)(de)特(te)征：即条(tiao)纹(wen)有一(yi)个固定(ding)(ding)不变(bian)的(de)(de)(de)(de)位(wei)置(zhi)，该固定(ding)(ding)位(wei)置(zhi)对应于光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)程差为零的(de)(de)(de)(de)平(ping)衡位(wei)置(zhi)，并在该位(wei)置(zhi)白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)输出光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)强(qiang)度具(ju)(ju)有最大(da)值(zhi)(zhi)，并通过探测(ce)(ce)该光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)强(qiang)最大(da)值(zhi)(zhi)，可(ke)实(shi)现(xian)样品(pin)表(biao)(biao)面位(wei)移的(de)(de)(de)(de)精密测(ce)(ce)量。此外，白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源具(ju)(ju)有系统(tong)抗干(gan)(gan)扰(rao)能力强(qiang)、稳定(ding)(ding)性好且动(dong)(dong)态范围(wei)大(da)、结构简单(dan)，成本低廉等(deng)优点。因此，白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)垂直扫描干(gan)(gan)涉(she)(she)、白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反射光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)谱(pu)等(deng)基于白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)(she)的(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)学(xue)测(ce)(ce)量技术在薄膜(mo)三维形貌测(ce)(ce)量、薄膜(mo)厚(hou)(hou)度精密测(ce)(ce)量等(deng)领域得(de)以(yi)广泛(fan)应用。嘉定(ding)(ding)区膜(mo)厚(hou)(hou)仪

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