FOUP（FrontOpeningUnifiedPod）清(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)设备(bei)是(shi)(shi)用于(yu)(yu)清(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)和(he)处理(li)半导体制造中(zhong)使(shi)用的(de)(de)(de)(de)FOUP（前开(kai)式统(tong)(tong)一(yi)载具）的(de)(de)(de)(de)设备(bei)。FOUP是(shi)(shi)一(yi)种用于(yu)(yu)运(yun)输和(he)储存半导体晶(jing)圆的(de)(de)(de)(de)载具，通(tong)常(chang)由塑料材料制成(cheng)，具有前开(kai)式设计和(he)统(tong)(tong)一(yi)的(de)(de)(de)(de)尺(chi)寸(cun)标(biao)准。FOUP清(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)设备(bei)的(de)(de)(de)(de)作用是(shi)(shi)将(jiang)(jiang)FOUP清(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)干(gan)净(jing)，去除表面的(de)(de)(de)(de)污染物和(he)颗(ke)粒(li)，以确(que)保(bao)在半导体制造过(guo)程(cheng)中(zhong)使(shi)用的(de)(de)(de)(de)晶(jing)圆始终保(bao)持良好的(de)(de)(de)(de)洁(jie)净(jing)度(du)。FOUP清(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)设备(bei)通(tong)常(chang)具有以下主要组成(cheng)部分：清(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)舱：清(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)舱是(shi)(shi)FOUP放置(zhi)(zhi)和(he)清(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)的(de)(de)(de)(de)区域。它通(tong)常(chang)包(bao)(bao)括(kuo)一(yi)个容纳FOUP的(de)(de)(de)(de)托盘(pan)或(huo)夹具，并配备(bei)喷淋装置(zhi)(zhi)、超声波清(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)器(qi)、喷气(qi)装置(zhi)(zhi)等(deng)(deng)清(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)装置(zhi)(zhi)。气(qi)流(liu)系(xi)(xi)(xi)(xi)统(tong)(tong)：气(qi)流(liu)系(xi)(xi)(xi)(xi)统(tong)(tong)用于(yu)(yu)提供(gong)洁(jie)净(jing)的(de)(de)(de)(de)气(qi)流(liu)环境，以防止新的(de)(de)(de)(de)颗(ke)粒(li)进入FOUP。它通(tong)常(chang)包(bao)(bao)括(kuo)高(gao)(gao)效(xiao)过(guo)滤器(qi)和(he)空气(qi)净(jing)化系(xi)(xi)(xi)(xi)统(tong)(tong)，以确(que)保(bao)提供(gong)高(gao)(gao)质量的(de)(de)(de)(de)洁(jie)净(jing)气(qi)氛。控(kong)制系(xi)(xi)(xi)(xi)统(tong)(tong)：控(kong)制系(xi)(xi)(xi)(xi)统(tong)(tong)用于(yu)(yu)监控(kong)和(he)控(kong)制清(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)设备(bei)的(de)(de)(de)(de)运(yun)行。它包(bao)(bao)括(kuo)传感器(qi)、执(zhi)行器(qi)和(he)计算机控(kong)制单元，用于(yu)(yu)监测和(he)调节清(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)过(guo)程(cheng)中(zhong)的(de)(de)(de)(de)温度(du)、压力、时间等(deng)(deng)参(can)数。水(shui)处理(li)系(xi)(xi)(xi)(xi)统(tong)(tong)：水(shui)处理(li)系(xi)(xi)(xi)(xi)统(tong)(tong)用于(yu)(yu)提供(gong)清(qing)(qing)(qing)洁(jie)的(de)(de)(de)(de)水(shui)源，用于(yu)(yu)清(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)FOUP。它通(tong)常(chang)包(bao)(bao)括(kuo)反(fan)渗透系(xi)(xi)(xi)(xi)统(tong)(tong)、离(li)子交换器(qi)和(he)过(guo)滤器(qi)，以去除水(shui)中(zhong)的(de)(de)(de)(de)离(li)子、颗(ke)粒(li)和(he)有机物。选择芯梦产品，您将(jiang)(jiang)会享受(shou)到(dao)更(geng)加便(bian)捷和(he)高(gao)(gao)效(xiao)的(de)(de)(de)(de)生(sheng)活和(he)工(gong)作！吉林半自动FOUP清(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)机报价行情(qing)

优点

装载晶(jing)圆直径至(zhi)200mm的花篮(lan)和片(pian)盒(he)(he)一(yi)或不同(tong)(tong)晶(jing)圆尺寸(cun)的花和片(pian)盒(he)(he)，同(tong)(tong)时可(ke)装载晶(jing)圆直径至(zhi)300mm的前端(duan)开口(kou)片(pian)盒(he)(he)(Foup片(pian)盒(he)(he))三种设备尺寸(cun)满足客户(hu)特殊需求

CleanStepl-用于(yu)4组(zu)花(hua)(hua)篮和(he)片盒(he)加载(zai)和(he)清(qing)洗能(neng)力:每次(ci)4组(zu)花(hua)(hua)和(he)片盒(he)清(qing)洗产能(neng):每小(xiao)时12组(zu)花(hua)(hua)篮和(he)片盒(he)、>、CleanStepll-用于(yu)8组(zu)花(hua)(hua)篮和(he)片盒(he)加载(zai)和(he)清(qing)洗能(neng)力:每次(ci)8组(zu)花(hua)(hua)篮和(he)片盒(he)清(qing)洗产能(neng):每小(xiao)时24组(zu)花(hua)(hua)篮和(he)片盒(he)

CleanStepIl-用于(yu)6组(zu)前(qian)端开口片(pian)盒(he)(Foup)加载和清洗能(neng)力:每(mei)次(ci)6组(zu)前(qian)端开口片(pian)盒(he)(Fup片(pian)盒(he))清洗产能(neng):每(mei)小时18组(zu)前(qian)端开门片(pian)盒(he)(Foup片(pian)盒(he))

适用于(yu)晶圆直径至200mm的(de)(de)花篮和片(pian)盒的(de)(de)标准旋转笼(CleanstepI/II)

适用于所有片(pian)盒一次清洗(xi)过程

或(huo)是同时4组(zu)花篮和片盒，或(huo)是12个花跨(CleanstepI/II)

简(jian)单快捷的对不同(tong)尺寸的片(pian)盒和花篮进行切换

旋(xuan)转笼内(nei)的可(ke)旋(xuan)转载(zai)体方便加载(zai)或卸载(zai)花篮和片盒

通过控(kong)制(zhi)系统对自锁(suo)装(zhuang)置的检(jian)测(ce)，达(da)到安全加载(zai)片盒和花篮，、海南半自动晶圆盒清洗机按(an)需定制(zhi)江苏芯(xin)梦的设备的品质能让(rang)你放心(xin)购买！

FOUP清(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)机(ji)(ji)是一种(zhong)专门用(yong)于清(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)FOUP（FrontOpeningUnifiedPod）的(de)(de)(de)(de)(de)设备(bei)，广(guang)泛应用(yong)于半导体(ti)制(zhi)造(zao)行(xing)业。FOUP是存放晶圆的(de)(de)(de)(de)(de)封闭(bi)式容(rong)器，清(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)机(ji)(ji)通过(guo)(guo)自(zi)动化(hua)的(de)(de)(de)(de)(de)过(guo)(guo)程(cheng)，去除FOUP内外的(de)(de)(de)(de)(de)污染物(wu)(wu)，以确(que)保晶圆的(de)(de)(de)(de)(de)高(gao)纯度(du)和(he)(he)(he)可(ke)靠性。FOUP清(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)机(ji)(ji)具(ju)备(bei)多种(zhong)功能(neng)和(he)(he)(he)处理(li)能(neng)力。它(ta)能(neng)够去除FOUP内的(de)(de)(de)(de)(de)各种(zhong)污染物(wu)(wu)，如油脂、有机(ji)(ji)物(wu)(wu)、化(hua)学物(wu)(wu)质残留(liu)和(he)(he)(he)水分(fen)。清(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)机(ji)(ji)采(cai)用(yong)不同的(de)(de)(de)(de)(de)清(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)方(fang)(fang)法，如喷淋、浸泡、超声波(bo)等，根据(ju)不同的(de)(de)(de)(de)(de)污染程(cheng)度(du)和(he)(he)(he)要求进(jin)行(xing)处理(li)。该设备(bei)具(ju)有高(gao)效、自(zi)动化(hua)的(de)(de)(de)(de)(de)特点(dian)。它(ta)能(neng)够在(zai)短时间内完成清(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)过(guo)(guo)程(cheng)，提高(gao)生产效率。自(zi)动化(hua)控制(zhi)系(xi)统确(que)保清(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)过(guo)(guo)程(cheng)的(de)(de)(de)(de)(de)精确(que)执行(xing)，减少人为操(cao)作(zuo)的(de)(de)(de)(de)(de)误差(cha)和(he)(he)(he)风(feng)险。清(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)机(ji)(ji)还(hai)配(pei)备(bei)直观(guan)的(de)(de)(de)(de)(de)用(yong)户(hu)界面和(he)(he)(he)操(cao)作(zuo)面板，方(fang)(fang)便操(cao)作(zuo)人员(yuan)监控和(he)(he)(he)控制(zhi)清(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)过(guo)(guo)程(cheng)。FOUP清(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)机(ji)(ji)注重安全性和(he)(he)(he)可(ke)靠性。它(ta)采(cai)用(yong)高(gao)质量的(de)(de)(de)(de)(de)材料和(he)(he)(he)密封结构，确(que)保清(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)过(guo)(guo)程(cheng)中不会对FOUP造(zao)成损害(hai)。安全控制(zhi)系(xi)统和(he)(he)(he)报(bao)警装置(zhi)保障操(cao)作(zuo)人员(yuan)的(de)(de)(de)(de)(de)安全。此外，清(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)机(ji)(ji)还(hai)具(ju)备(bei)数据(ju)记录和(he)(he)(he)追溯功能(neng)，方(fang)(fang)便对清(qing)(qing)(qing)(qing)(qing)洗(xi)(xi)(xi)过(guo)(guo)程(cheng)进(jin)行(xing)监控和(he)(he)(he)分(fen)析。

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