在(zai)塑料薄膜及透明材料薄厚测(ce)(ce)量(liang)(liang)层(ceng)面(mian)，朱万彬(bin)等(deng)阐述(shu)了(le)(le)光(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)传感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)在(zai)测(ce)(ce)量(liang)(liang)全(quan)透明平板(ban)电脑的(de)(de)(de)平整度(du)时，由(you)全(quan)透明平板(ban)电脑的(de)(de)(de)折光(guang)(guang)(guang)率不同而引(yin)进(jin)(jin)的(de)(de)(de)测(ce)(ce)量(liang)(liang)误差(cha)(cha)并(bing)(bing)进(jin)(jin)行补(bu)偿；曹太腾等(deng)基千(qian)三(san)维(wei)数据 测(ce)(ce)量(liang)(liang)的(de)(de)(de)机(ji)器(qi)(qi)视觉技(ji)术(shu)，利用光(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)传感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)对透明材料薄厚及弧形玻璃曲面(mian)薄厚进(jin)(jin)行检测(ce)(ce)。在(zai)外表(biao)(biao)粗(cu)糙(cao)度(du)测(ce)(ce)量(liang)(liang)层(ceng)面(mian)，沈(shen)雪琴等(deng)阐述(shu)了(le)(le)不一(yi)(yi)样 方(fang)(fang)式测(ce)(ce)量(liang)(liang)外表(biao)(biao)粗(cu)糙(cao)度(du)时优缺点 ，选择了(le)(le)根据光(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)传感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)测(ce)(ce)量(liang)(liang)方(fang)(fang)式并(bing)(bing)进(jin)(jin)行了(le)(le)有关试验，为外表(biao)(biao)粗(cu)糙(cao)度(du)的(de)(de)(de)高精(jing)密测(ce)(ce)量(liang)(liang)提供了(le)(le)一(yi)(yi)种(zhong)新方(fang)(fang)法；林(lin)杰俊等(deng)利用光(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)法测(ce)(ce)量(liang)(liang)外表(biao)(biao)粗(cu)糙(cao)度(du)样块的(de)(de)(de)表(biao)(biao)面(mian)粗(cu)糙(cao)度(du)，并(bing)(bing)阐述(shu)了(le)(le)其 测(ce)(ce)量(liang)(liang)不确定度(du)。文(wen)中利用小(xiao)二乘法测(ce)(ce)算校准(zhun)误差(cha)(cha)并(bing)(bing)进(jin)(jin)行了(le)(le)离散(san)系(xi)统误差(cha)(cha)测(ce)(ce)算，减少(shao)光(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)传感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)校准(zhun)后的(de)(de)(de)误差(cha)(cha)，并(bing)(bing)在(zai)不同精(jing)密度(du)标准(zhun)器(qi)(qi)下，探寻光(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)传感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)校准(zhun)误差(cha)(cha)的(de)(de)(de)变化情况，对今后对光(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)传感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)应用及科学研究拥有重要意义。线(xian)性色散(san)设计的(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)测(ce)(ce)量(liang)(liang)技(ji)术(shu)是一(yi)(yi)种(zhong)新型的(de)(de)(de)测(ce)(ce)量(liang)(liang)方(fang)(fang)法。鞍山光(guang)(guang)(guang)谱(pu)(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)常用解决方(fang)(fang)案

随着工业快速(su)(su)的(de)(de)发(fa)展，对(dui)(dui)精(jing)密测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)技术(shu)的(de)(de)要(yao)求越来越高(gao)(gao)(gao)(gao)，位(wei)(wei)移(yi)测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)技术(shu)作为几何(he)量(liang)(liang)精(jing)密测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)的(de)(de)基(ji)础，不仅需(xu)要(yao)超高(gao)(gao)(gao)(gao)测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)精(jing)度(du)(du)(du)(du)，而且需(xu)要(yao)对(dui)(dui)环境(jing)和(he)材料的(de)(de)大量(liang)(liang)适(shi)应性，并且逐步(bu)趋于(yu)实(shi)时(shi)、无(wu)损检测(ce)(ce)(ce)。与传统(tong)接(jie)(jie)触式(shi)测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)方法相比，光(guang)谱(pu)(pu)共焦位(wei)(wei)移(yi)传感器(qi)(qi)具有高(gao)(gao)(gao)(gao)速(su)(su)度(du)(du)(du)(du)，高(gao)(gao)(gao)(gao)精(jing)度(du)(du)(du)(du)，高(gao)(gao)(gao)(gao)适(shi)应性等明显优势。本(ben)文通过对(dui)(dui)光(guang)谱(pu)(pu)共焦传感器(qi)(qi)应用(yong)场(chang)景(jing)的(de)(de)分析，有助于(yu)广大读者进一步(bu)加(jia)深对(dui)(dui)光(guang)谱(pu)(pu)共焦传感器(qi)(qi)技术(shu)的(de)(de)理(li)解。得(de)益(yi)于(yu)纳米级(ji)精(jing)度(du)(du)(du)(du)及超好的(de)(de)角度(du)(du)(du)(du)特性，光(guang)谱(pu)(pu)共焦位(wei)(wei)移(yi)传感器(qi)(qi)可用(yong)于(yu)对(dui)(dui)表面粗(cu)糙(cao)度(du)(du)(du)(du)进行高(gao)(gao)(gao)(gao)精(jing)度(du)(du)(du)(du)测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)。相对(dui)(dui)于(yu)传统(tong)的(de)(de)接(jie)(jie)触式(shi)粗(cu)糙(cao)度(du)(du)(du)(du)仪(yi)，光(guang)谱(pu)(pu)共焦位(wei)(wei)移(yi)传感器(qi)(qi)以(yi)更(geng)高(gao)(gao)(gao)(gao)的(de)(de)速(su)(su)度(du)(du)(du)(du)采集粗(cu)糙(cao)度(du)(du)(du)(du)轮廓，并且对(dui)(dui)产品表面无(wu)任(ren)何(he)损伤。广东光(guang)谱(pu)(pu)共焦大概价格多(duo)少(shao)光(guang)谱(pu)(pu)共焦厚(hou)度(du)(du)(du)(du)检测(ce)(ce)(ce)系统(tong)可以(yi)实(shi)现厚(hou)度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)非(fei)接(jie)(jie)触式(shi)测(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)。

采用(yong)对(dui)比(bi)(bi)测(ce)试(shi)方(fang)法，首先对(dui)基于(yu)(yu)白(bai)光(guang)(guang)(guang)共(gong)焦(jiao)光(guang)(guang)(guang)谱技(ji)术的(de)(de)(de)(de)(de)靶丸(wan)(wan)(wan)外(wai)表(biao)(biao)面轮廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)测(ce)量(liang)精度进(jin)行(xing)了考核，图(tu)5(a)是(shi)靶丸(wan)(wan)(wan)外(wai)表(biao)(biao)面轮廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)的(de)(de)(de)(de)(de)原(yuan)子(zi)(zi)力(li)(li)显(xian)微(wei)(wei)镜(jing)(jing)轮廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)仪和白(bai)光(guang)(guang)(guang)共(gong)焦(jiao)光(guang)(guang)(guang)谱轮廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)仪的(de)(de)(de)(de)(de)测(ce)量(liang)曲线(xian)。为了便(bian)于(yu)(yu)比(bi)(bi)较，将原(yuan)子(zi)(zi)力(li)(li)显(xian)微(wei)(wei)镜(jing)(jing)轮廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)仪的(de)(de)(de)(de)(de)测(ce)量(liang)数(shu)(shu)(shu)据(ju)进(jin)行(xing)了偏(pian)移(yi)。从图(tu)中可(ke)(ke)以看出，二者的(de)(de)(de)(de)(de)低(di)阶轮廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)整体相(xiang)似，局部(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)轮廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)信息存在(zai)一定的(de)(de)(de)(de)(de)偏(pian)差，原(yuan)因在(zai)于(yu)(yu)二者在(zai)靶丸(wan)(wan)(wan)赤道附(fu)近的(de)(de)(de)(de)(de)精确测(ce)量(liang)圆周(zhou)轮廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)结(jie)果(guo)不(bu)一致(zhi);此外(wai)，白(bai)光(guang)(guang)(guang)共(gong)焦(jiao)光(guang)(guang)(guang)谱的(de)(de)(de)(de)(de)信噪比(bi)(bi)较原(yuan)子(zi)(zi)力(li)(li)低(di)，这表(biao)(biao)明白(bai)光(guang)(guang)(guang)共(gong)焦(jiao)光(guang)(guang)(guang)谱适(shi)用(yong)于(yu)(yu)靶丸(wan)(wan)(wan)表(biao)(biao)面低(di)阶的(de)(de)(de)(de)(de)轮廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)误差的(de)(de)(de)(de)(de)测(ce)量(liang)。图(tu)5(b)是(shi)靶丸(wan)(wan)(wan)外(wai)表(biao)(biao)面轮廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)原(yuan)子(zi)(zi)力(li)(li)显(xian)微(wei)(wei)镜(jing)(jing)轮廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)仪测(ce)量(liang)数(shu)(shu)(shu)据(ju)和白(bai)光(guang)(guang)(guang)共(gong)焦(jiao)光(guang)(guang)(guang)谱轮廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)仪测(ce)量(liang)数(shu)(shu)(shu)据(ju)的(de)(de)(de)(de)(de)功(gong)率谱曲线(xian)，从图(tu)中可(ke)(ke)以看出，在(zai)模(mo)数(shu)(shu)(shu)低(di)于(yu)(yu)100的(de)(de)(de)(de)(de)功(gong)率谱范围(wei)内，两种方(fang)法的(de)(de)(de)(de)(de)测(ce)量(liang)结(jie)果(guo)一致(zhi)性较好，当模(mo)数(shu)(shu)(shu)大于(yu)(yu)100时，白(bai)光(guang)(guang)(guang)共(gong)焦(jiao)光(guang)(guang)(guang)谱的(de)(de)(de)(de)(de)测(ce)量(liang)数(shu)(shu)(shu)据(ju)大于(yu)(yu)原(yuan)子(zi)(zi)力(li)(li)显(xian)微(wei)(wei)镜(jing)(jing)的(de)(de)(de)(de)(de)测(ce)量(liang)数(shu)(shu)(shu)据(ju)，这也反应了白(bai)光(guang)(guang)(guang)共(gong)焦(jiao)光(guang)(guang)(guang)谱仪在(zai)高(gao)频段测(ce)量(liang)数(shu)(shu)(shu)据(ju)信噪比(bi)(bi)相(xiang)对(dui)较差的(de)(de)(de)(de)(de)特点。由(you)于(yu)(yu)光(guang)(guang)(guang)谱传感器Z向分辨率比(bi)(bi)原(yuan)子(zi)(zi)力(li)(li)低(di)一个量(liang)级(ji)，同时，受环(huan)境振动、光(guang)(guang)(guang)谱仪采样率及(ji)样品表(biao)(biao)面散射光(guang)(guang)(guang)等因素的(de)(de)(de)(de)(de)影响，共(gong)焦(jiao)光(guang)(guang)(guang)谱检(jian)测(ce)数(shu)(shu)(shu)据(ju)高(gao)频随机噪声可(ke)(ke)达100nm左右。

光谱共(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)传(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)可(ke)(ke)(ke)以(yi)用于(yu)(yu)数码相(xiang)机的(de)(de)(de)相(xiang)位(wei)(wei)测(ce)距，可(ke)(ke)(ke)大幅提高相(xiang)机的(de)(de)(de)对焦(jiao)(jiao)精度(du)和成像质量。同时(shi)(shi)，还可(ke)(ke)(ke)以(yi)通过检测(ce)相(xiang)机的(de)(de)(de)微(wei)小振(zhen)动，实(shi)(shi)现图(tu)像的(de)(de)(de)防抖和抗震功能。光谱共(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)传(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)可(ke)(ke)(ke)以(yi)用于(yu)(yu)计算机硬(ying)盘(pan)的(de)(de)(de)位(wei)(wei)移和振(zhen)动测(ce)量，从而实(shi)(shi)现对硬(ying)盘(pan)存储数据的(de)(de)(de)稳定性和可(ke)(ke)(ke)靠(kao)性的(de)(de)(de)实(shi)(shi)时(shi)(shi)监控(kong)。在硬(ying)盘(pan)的(de)(de)(de)生产(chan)过程中(zhong)，光谱共(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)传(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)也可(ke)(ke)(ke)用于(yu)(yu)进行(xing)各种机械结构件的(de)(de)(de)位(wei)(wei)移、振(zhen)动和形变测(ce)试。光谱共(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)传(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)在3C电子(zi)行(xing)业中(zhong)的(de)(de)(de)应用领域极其大量，可(ke)(ke)(ke)用于(yu)(yu)各种控(kong)制和检测(ce)环节，实(shi)(shi)现高精度(du)、高可(ke)(ke)(ke)靠(kao)性的(de)(de)(de)测(ce)量与检测(ce)。光谱共(gong)(gong)焦(jiao)(jiao)位(wei)(wei)移传(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)可(ke)(ke)(ke)以(yi)实(shi)(shi)现非(fei)接触式(shi)位(wei)(wei)移测(ce)量。

光(guang)谱(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)技术(shu)是(shi)在共(gong)焦(jiao)(jiao)显微术(shu)基础(chu)上发展而(er)来，其无需轴向(xiang)(xiang)扫(sao)描(miao)，直接由波长对(dui)应(ying)轴向(xiang)(xiang)距离信息，从而(er)大幅提高(gao)测(ce)(ce)量(liang)(liang)速度(du)。而(er)基于光(guang)谱(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)技术(shu)的(de)传感(gan)器(qi)(qi)是(shi)近年来出现(xian)的(de)一种(zhong)高(gao)精(jing)(jing)度(du)、非接触(chu)式(shi)的(de)新型(xing)传感(gan)器(qi)(qi)，精(jing)(jing)度(du)理论上可(ke)达 nm 量(liang)(liang)级。由于光(guang)谱(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)传感(gan)器(qi)(qi)对(dui)被测(ce)(ce)表(biao)(biao)面状况要求低，允许被测(ce)(ce)表(biao)(biao)面有更大的(de)倾斜(xie)角，测(ce)(ce)量(liang)(liang)速度(du)快，实时性高(gao)，迅(xun)速成为工(gong)业测(ce)(ce)量(liang)(liang)的(de)热门传感(gan)器(qi)(qi)，大量(liang)(liang)应(ying)用于精(jing)(jing)密定位、薄膜厚度(du)测(ce)(ce)量(liang)(liang)、微观轮廓(kuo)精(jing)(jing)密测(ce)(ce)量(liang)(liang)等领域。本文在论述光(guang)谱(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)技术(shu)原理的(de)基础(chu)上，列举了光(guang)谱(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)传感(gan)器(qi)(qi)在几何(he)量(liang)(liang)计(ji)量(liang)(liang)测(ce)(ce)试(shi)中(zhong)的(de)典型(xing)应(ying)用，探讨共(gong)焦(jiao)(jiao)技术(shu)在未来精(jing)(jing)密测(ce)(ce)量(liang)(liang)的(de)进一步应(ying)用，展望其发展前景。光(guang)谱(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)位移(yi)(yi)传感(gan)器(qi)(qi)可(ke)以实现(xian)对(dui)不同(tong)材料的(de)位移(yi)(yi)测(ce)(ce)量(liang)(liang)，包(bao)括金属(shu)、陶瓷、塑料等。静海区光(guang)谱(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)成本价

激光(guang)共(gong)焦扫描显微(wei)镜将(jiang)被测物体(ti)沿(yan)光(guang)轴(zhou)移(yi)动(dong)或将(jiang)透镜沿(yan)光(guang)轴(zhou)移(yi)动(dong)。鞍(an)山光(guang)谱共(gong)焦常用解决方案

光(guang)谱(pu)(pu)共焦(jiao)测(ce)(ce)量(liang)技术由于其高(gao)精度(du)(du)(du)、允许被测(ce)(ce)表面(mian)有更大(da)的(de)(de)倾(qing)斜角(jiao)、测(ce)(ce)量(liang)速(su)度(du)(du)(du)快(kuai)、实(shi)时(shi)性(xing)高(gao)、对被测(ce)(ce)表面(mian)状况要(yao)求低、以及高(gao)分辨率的(de)(de)独特优(you)势(shi)，迅速(su)成为工(gong)(gong)业测(ce)(ce)量(liang)的(de)(de)热门传感(gan)器(qi)，在生物医学、材(cai)料科学、半导体制(zhi)造、表面(mian)工(gong)(gong)程(cheng)研究(jiu)、精密测(ce)(ce)量(liang)、3C电子等领域得到大(da)量(liang)应用。本次测(ce)(ce)量(liang)场景使(shi)用的(de)(de)是创视(shi)智(zhi)能(neng)(neng)TS-C1200光(guang)谱(pu)(pu)共焦(jiao)传感(gan)头(tou)和(he)CCS控制(zhi)器(qi)。TS-C系列光(guang)谱(pu)(pu)共焦(jiao)位(wei)移传感(gan)器(qi)能(neng)(neng)够(gou)实(shi)现(xian)0.025µm的(de)(de)重复(fu)精度(du)(du)(du)，±0.02% of F.S.的(de)(de)线性(xing)精度(du)(du)(du)， 30kHz的(de)(de)采样速(su)度(du)(du)(du)，以及±60°的(de)(de)测(ce)(ce)量(liang)角(jiao)度(du)(du)(du)，能(neng)(neng)够(gou)适应镜面(mian)、透(tou)(tou)明、半透(tou)(tou)明、膜层(ceng)(ceng)、金(jin)属粗糙面(mian)、多层(ceng)(ceng)玻璃等材(cai)料表面(mian)，支持(chi)485、USB、以太网、模拟量(liang)的(de)(de)数(shu)据传输接口。鞍山光(guang)谱(pu)(pu)共焦(jiao)常用解决方(fang)案

本文来(lai)自东莞富发玻璃制品有(you)限公司：//diyijian.cn/Article/36f56699397.html