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设备特点：

●多达十段清洗流程设定,工(gong)艺窗口更宽；

●含有自(zi)动执行状态显示(shi)，快速检视状态及工作时间；

●扭力侦测转篮卡榫未定位保(bao)护，降低因人为(wei)导致设备(bei)损(sun)坏；

●主(zhu)轴以伺服马(ma)达控(kong)制达到稳定加减速及转速数值化设定控(kong)制；

●旋(xuan)转(zhuan)式(shi)离(li)心清(qing)洗，可(ke)正(zheng)反调(diao)速旋(xuan)转(zhuan)，清(qing)理产品表面的(de)附(fu)着残(can)留；

●以IR烘烤加速干燥时间(jian),无任何(he)水份(fen)残留；

●采用流(liu)体(二(er)流(liu)体选项)的(de)清洗模(mo)式(shi)，能(neng)有效的(de)去处微小的(de)污染物(wu)；

●操作程(cheng)序PLC控制可按(an)作业需求自由(you)调整，方便(bian)快(kuai)捷(jie)，人性(xing)化(hua)设计(ji)。

应用范围：

该(gai)设备主(zhu)要用(yong)于半(ban)导(dao)体制程的Foup、Fosb、Cassette的Particle清洗(xi)。

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