由于每一(yi)个波(bo)(bo)长(zhang)(zhang)都可以(yi)固(gu)定一(yi)个距(ju)离值(zhi)(zhi)，因此，通过将光(guang)谱(pu)山(shan)线峰值(zhi)(zhi)波(bo)(bo)长(zhang)(zhang)确(que)定下来(lai)，就可以(yi)将精(jing)确(que)的(de)(de)(de)(de)(de)距(ju)离值(zhi)(zhi)推(tui)算出(chu)来(lai)。假设传感(gan)(gan)器(qi)与物(wu)体(ti)表面(mian)存在(zai)(zai)相对(dui)移动，此时(shi)物(wu)体(ti)表面(mian)的(de)(de)(de)(de)(de)中(zhong)心点(dian)恰好处(chu)在(zai)(zai)单色(se)光(guang)（A1）的(de)(de)(de)(de)(de)像点(dian)处(chu)，可以(yi)作出(chu)光(guang)谱(pu)仪探测(ce)(ce)到的(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)谱(pu)曲线。通过测(ce)(ce)量得到不同(tong)的(de)(de)(de)(de)(de)波(bo)(bo)长(zhang)(zhang)值(zhi)(zhi)，可以(yi)将物(wu)体(ti)表面(mian)不同(tong)点(dian)之(zhi)间的(de)(de)(de)(de)(de)相对(dui)位移值(zhi)(zhi)计算出(chu)来(lai)。如果配(pei)上(shang)精(jing)细的(de)(de)(de)(de)(de)扫描机构，就可以(yi)对(dui)整(zheng)体(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)二维表面(mian)轮廓(kuo)及(ji)形貌(mao)进(jin)行精(jing)确(que)的(de)(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)量。相比其他(ta)传统的(de)(de)(de)(de)(de)位移传感(gan)(gan)器(qi)，光(guang)谱(pu)共焦传感(gan)(gan)器(qi)凭借独(du)特的(de)(de)(de)(de)(de)测(ce)(ce)量原理，具(ju)有测(ce)(ce)量效(xiao)率(lv)高、精(jing)度高、体(ti)积小、非(fei)接触等特点(dian)，在(zai)(zai)各个领域都得到了大量的(de)(de)(de)(de)(de)应用。光(guang)谱(pu)共焦位移传感(gan)(gan)器(qi)可以(yi)实时(shi)监测(ce)(ce)材(cai)料的(de)(de)(de)(de)(de)变化(hua)情况，对(dui)于研(yan)究材(cai)料的(de)(de)(de)(de)(de)力学性能具(ju)有重要意义(yi)。高采样速率(lv)光(guang)谱(pu)共焦按需定制

光(guang)(guang)(guang)谱(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)位(wei)移(yi)传(chuan)感(gan)器(qi)原(yuan)理(li)，由(you)光(guang)(guang)(guang)源(yuan)、透(tou)镜(jing)组(zu)、控制(zhi)箱等组(zu)成(cheng)。光(guang)(guang)(guang)源(yuan)发出1束白光(guang)(guang)(guang)，透(tou)镜(jing)组(zu)先将白光(guang)(guang)(guang)发散成(cheng)一(yi)系(xi)列波长不(bu)同的(de)单色光(guang)(guang)(guang)，然后经同轴(zhou)(zhou)聚(ju)(ju)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)在一(yi)定范围内形成(cheng)1个连续的(de)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)点组(zu)，每个焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)点的(de)单色光(guang)(guang)(guang)波长对应1个轴(zhou)(zhou)向(xiang)(xiang)位(wei)置。当样品处于(yu)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)点范围内时，样品表面(mian)将聚(ju)(ju)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)后的(de)光(guang)(guang)(guang)反射(she)回去。这(zhei)些反射(she)回来的(de)光(guang)(guang)(guang)经过与镜(jing)头组(zu)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)距(ju)相同的(de)聚(ju)(ju)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)镜(jing)再次聚(ju)(ju)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)后通过狭缝进(jin)入(ru)控制(zhi)箱中的(de)单色仪。因此，只有焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)点位(wei)置正好处于(yu)样品表面(mian)的(de)单色光(guang)(guang)(guang)才能聚(ju)(ju)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)在狭缝上。单色仪将该(gai)波长的(de)光(guang)(guang)(guang)分(fen)离出来，由(you)控制(zhi)箱中的(de)光(guang)(guang)(guang)电组(zu)件(jian)识别并 得到(dao)样品的(de)轴(zhou)(zhou)向(xiang)(xiang)位(wei)置。采(cai)用高数值(zhi)孔径的(de)聚(ju)(ju)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)镜(jing)头可(ke)以(yi)使(shi)传(chuan)感(gan)器(qi)达到(dao)较高分(fen)辨率，满足薄膜厚(hou)度分(fen)布测(ce)量要求(qiu)。江(jiang)苏光(guang)(guang)(guang)谱(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)性价比高光(guang)(guang)(guang)谱(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)厚(hou)度检(jian)测(ce)系(xi)统可(ke)以(yi)实现厚(hou)度的(de)非接触(chu)式测(ce)量。

集(ji)成于(yu)2D扫描系(xi)统上(shang)，光(guang)谱共(gong)焦(jiao)位移传(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)可(ke)以(yi)(yi)提供针(zhen)对负载表(biao)面(mian)形貌的(de)(de)2D和(he)(he)高度测量数据(ju)。创新的(de)(de)光(guang)谱共(gong)焦(jiao)原理(li)使本传(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)可(ke)以(yi)(yi)直接透(tou)过(guo)透(tou)明件(jian)工(gong)件(jian)的(de)(de)前(qian)后表(biao)面(mian)测量厚度，整个过(guo)程需(xu)要使用一个传(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)从(cong)工(gong)件(jian)的(de)(de)一个侧面(mian)测量。相对于(yu)三角反射原理(li)的(de)(de)激光(guang)位移传(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)，本仪器(qi)(qi)(qi)因采(cai)用同(tong)轴光(guang)，从(cong)而可(ke)以(yi)(yi)更有效地测量弧工(gong)件(jian)的(de)(de)厚度。高采(cai)样频(pin)率，小尺寸体(ti)积(ji)和(he)(he)卡放的(de)(de)数据(ju)接口，使本仪器(qi)(qi)(qi)非常容易集(ji)成至(zhi)在线生(sheng)产和(he)(he)检(jian)测设备(bei)中，实(shi)现(xian)线上(shang)检(jian)测。由于(yu)采(cai)用超(chao)高的(de)(de)采(cai)样频(pin)率和(he)(he)超(chao)高精度,光(guang)谱共(gong)焦(jiao)传(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)可(ke)以(yi)(yi)对震(zhen)动物件(jian)进(jin)行测量,传(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)(qi)(qi)采(cai)用的(de)(de)非接触设计，避免测量过(guo)程中对震(zhen)动物件(jian)造成干扰，同(tong)时可(ke)以(yi)(yi)对复杂区域进(jin)行详(xiang)细的(de)(de)测量和(he)(he)分析。

主要是对光(guang)谱(pu)(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)传(chuan)感器的(de)(de)(de)校准后的(de)(de)(de)误(wu)差(cha)(cha)进行分析。各(ge)自利(li)用(yong)干涉(she)仪与高精密测(ce)(ce)(ce)长机(ji)对光(guang)谱(pu)(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)传(chuan)感器开(kai)展测(ce)(ce)(ce)量(liang)，用(yong)曲面(mian)测(ce)(ce)(ce)针(zhen)确保光(guang)谱(pu)(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)传(chuan)感器的(de)(de)(de)激光(guang)光(guang)路坐落于测(ce)(ce)(ce)针(zhen)，以(yi)确保光(guang)谱(pu)(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)传(chuan)感器在测(ce)(ce)(ce)量(liang)时安装精密度，随后拆换(huan)平(ping)面(mian)图歪头，对光(guang)谱(pu)(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)传(chuan)感器开(kai)展校准。用(yong)小(xiao)二乘法对测(ce)(ce)(ce)量(liang)数(shu)据(ju)进行解决，获得测(ce)(ce)(ce)量(liang)数(shu)据(ju)库的(de)(de)(de)离散(san)系统(tong)误(wu)差(cha)(cha)。结果显示(shi)：高精密测(ce)(ce)(ce)长机(ji)校准后的(de)(de)(de)离散(san)系统(tong)误(wu)差(cha)(cha)为 0.030%，激光(guang)器于涉(she)仪校准时的(de)(de)(de)分析线形误(wu)差(cha)(cha)为0.038%。利(li)用(yong)小(xiao)二乘法开(kai)展数(shu)据(ju)处理方法及离散(san)系统(tong)误(wu)差(cha)(cha)的(de)(de)(de)计(ji)算，减少校准时产生的(de)(de)(de)平(ping)行度误(wu)差(cha)(cha)及光(guang)谱(pu)(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)传(chuan)感器的(de)(de)(de)系统(tong)误(wu)差(cha)(cha)，提高对光(guang)谱(pu)(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)传(chuan)感器的(de)(de)(de)校准精密度。光(guang)谱(pu)(pu)共(gong)(gong)焦(jiao)技(ji)术可以(yi)对材(cai)料表(biao)面(mian)和(he)内部进行非接(jie)触式的(de)(de)(de)检(jian)测(ce)(ce)(ce)和(he)分析。

光(guang)(guang)(guang)谱(pu)共(gong)(gong)焦是一(yi)种(zhong)综合了光(guang)(guang)(guang)学成(cheng)像和(he)(he)光(guang)(guang)(guang)谱(pu)分析技术的(de)(de)(de)(de)高精度位移(yi)传(chuan)感器(qi)，在(zai)3C（计算机(ji)(ji)、通信和(he)(he)消费电(dian)(dian)子）电(dian)(dian)子行业中应用(yong)极(ji)为大量(liang)(liang)。光(guang)(guang)(guang)谱(pu)共(gong)(gong)焦传(chuan)感器(qi)可(ke)以用(yong)于(yu)智(zhi)能(neng)(neng)手机(ji)(ji)内(nei)线性(xing)马达的(de)(de)(de)(de)位移(yi)测量(liang)(liang)，通过(guo)实(shi)时监控和(he)(he)控制线性(xing)马达的(de)(de)(de)(de)位移(yi)，可(ke)大幅(fu)提高智(zhi)能(neng)(neng)手机(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)定位功(gong)能(neng)(neng)和(he)(he)相机(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)成(cheng)像精度。也能(neng)(neng)测量(liang)(liang)手机(ji)(ji)屏的(de)(de)(de)(de)曲面角度、厚度等。平板电(dian)(dian)脑内(nei)各种(zhong)移(yi)动结构部件的(de)(de)(de)(de)位移(yi)和(he)(he)振(zhen)动检测是平板电(dian)(dian)脑生(sheng)产过(guo)程中非常重(zhong)要(yao)的(de)(de)(de)(de)环(huan)节。光(guang)(guang)(guang)谱(pu)共(gong)(gong)焦传(chuan)感器(qi)可(ke)以通过(guo)对平板电(dian)(dian)脑内(nei)的(de)(de)(de)(de)各种(zhong)移(yi)动机(ji)(ji)构、控制元件进行精密位移(yi)、振(zhen)动、形变和(he)(he)应力(li)等参数的(de)(de)(de)(de)测量(liang)(liang)，从而实(shi)现对其制造(zao)精度和(he)(he)运(yun)行状(zhuang)态的(de)(de)(de)(de)实(shi)时监控。光(guang)(guang)(guang)谱(pu)共(gong)(gong)焦技术可(ke)以测量(liang)(liang)位移(yi)，利用(yong)返(fan)回光(guang)(guang)(guang)谱(pu)的(de)(de)(de)(de)峰值波长位置。江苏光(guang)(guang)(guang)谱(pu)共(gong)(gong)焦性(xing)价比高

光谱共(gong)(gong)焦技术的发展(zhan)将(jiang)促进(jin)相关(guan)产(chan)业的发展(zhan)。高采样速率光谱共(gong)(gong)焦按(an)需(xu)定(ding)制

光谱共(gong)焦传(chuan)(chuan)感(gan)器可以(yi)提(ti)供结合高(gao)(gao)精度(du)(du)和(he)(he)高(gao)(gao)速(su)(su)的(de)(de)(de)新(xin)现代技(ji)(ji)(ji)术(shu)。这(zhei)(zhei)些(xie)特性(xing)使(shi)这(zhei)(zhei)些(xie)多(duo)功能距离(li)和(he)(he)位移传(chuan)(chuan)感(gan)器非常适(shi)合工业 4.0 的(de)(de)(de)高(gao)(gao)要求。在(zai)(zai)工业 4.0 的(de)(de)(de)世(shi)界中(zhong)，传(chuan)(chuan)感(gan)器必须能够进(jin)行高(gao)(gao)速(su)(su)测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)并提(ti)供高(gao)(gao)精度(du)(du)结果，以(yi)确保可靠的(de)(de)(de)质量(liang)(liang)(liang)保证。光学测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)技(ji)(ji)(ji)术(shu)是(shi)非接(jie)触(chu)式的(de)(de)(de)，于目标(biao)材料分开和(he)(he)表(biao)面特性(xing)，因(yin)此它们(men)对生产和(he)(he)检(jian)测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)过(guo)程变得越(yue)来越(yue)重要。这(zhei)(zhei)是(shi)“实(shi)时”生产过(guo)程中(zhong)的(de)(de)(de)一个主要优势，在(zai)(zai)这(zhei)(zhei)种过(guo)程中(zhong)，触(chu)觉测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)技(ji)(ji)(ji)术(shu)正在(zai)(zai)发(fa)挥其(qi)极(ji)限，尤其(qi)是(shi)当目标(biao)位于难以(yi)接(jie)近的(de)(de)(de)区(qu)域时。光谱共(gong)焦传(chuan)(chuan)感(gan)器提(ti)供突破(po)性(xing)的(de)(de)(de)技(ji)(ji)(ji)术(shu)、高(gao)(gao)精度(du)(du)和(he)(he)高(gao)(gao)速(su)(su)度(du)(du)。此外，共(gong)焦色差测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)技(ji)(ji)(ji)术(shu)允许进(jin)行距离(li)测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)、透明(ming)材料的(de)(de)(de)多(duo)层厚度(du)(du)测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)、强度(du)(du)评(ping)估以(yi)及钻孔和(he)(he)凹槽内的(de)(de)(de)测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)。测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)过(guo)程是(shi)无(wu)磨损的(de)(de)(de)、非接(jie)触(chu)式的(de)(de)(de)，并且实(shi)际(ji)上与表(biao)面特性(xing)无(wu)关。由于测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)光斑尺寸极(ji)小(xiao)，即(ji)使(shi)是(shi)非常小(xiao)的(de)(de)(de)物体(ti)也能被检(jian)测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)到。因(yin)此，共(gong)焦色度(du)(du)测(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)技(ji)(ji)(ji)术(shu)适(shi)用于在(zai)(zai)线质量(liang)(liang)(liang)控制。高(gao)(gao)采样速(su)(su)率光谱共(gong)焦按需(xu)定制

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